ISDG   Interferometric Strain/Displacement Gauge   간섭 변형률/변위 게이지

1. 간섭 변형률/변위 게이지 (Interferometric Strain/Displacement Gauge, ISDG)

  ㅇ 레이저 광에 의한 회절 현상 이용하여, 표면 상의 2점 사이의 변위나 변형률 측정
     - 비 접촉식 / 광학적 / 초 정밀

  ㅇ 원리 
     - 두 광 경로 길이 차이에 의해 생기는, 간섭 무늬를 이용
        . 변형 또는 변위 발생 → 광 경로 길이 변화 → 간섭무늬 이동

     - 이때, 간섭무늬 개수만 세면, 변위를 바로 계산 가능
        . 간섭 무늬의 이동 개수(N)와 변위(d) 사이의 관계는, 광원의 파장(λ)에 기초함
           .. {#d = N \cdot \frac{\lambda}{2}#}

  ㅇ 구성 요소
     - 광원  :  (레이저 등 단색광)
     - 간섭계  :  (마이켈슨 간섭계 등)
     - 반사경  :  (측정 대상 부착 또는 압흔/슬릿)
     - 검출기  :  (간섭 무늬 측정)