MMIC, RFIC   Monolithic Microwave Integrated Circuit, RF Integrated Circuit   단일칩 초고주파 집적회로, 마이크로파 집적회로

1. MMIC (마이크로파 집적회로, Monolithic Microwave IC) 이란?

  ㅇ M/W파 회로 동작에 필요한 소형 소자들을,
     - 즉, `저항,인덕터,커패시터 등의 수동소자` 및 `트랜지스터,FET 등의 능동소자`를,
     - 하나의 반도체 기판 위에 일괄 공정으로 제작하는 초소형 초고주파 집적 회로

  ※ Monolithic : `일체화된`,`이음매가 없는`


2. 부가설명

  ㅇ MMIC는,
     - 종래에는, 고주파 특성이 우수한 GaAs,InP 등 화합물 반도체를 이용한 부품 만을 칭하였으나,
     - 최근에는, Si 기판을 이용한 SiGe 및 CMOS 기반의 RF 집적회로 (RFIC)도 넓은 의미에서
                 MMIC 기술에 포함시키고 있음


3. 구분

  ㅇ 광통신용 MMIC
     -  테라헤르쯔(THz) 이상에서 동작

  ㅇ 전자소자 MMIC
     -  300 GHz 대의 초고주파 및 밀리미터파대에서 동작

  ㅇ RFIC
     -  3 GHz 이하의 낮은 주파수대에서 동작하는 저가용