Clean Room   청정실, 클린룸

(2020-05-16)
1. 청정실공기 중의 먼지,미립자,압력,온도,습도,기류분포 등을 일정 범위로 제어코자 설비된 실내


2. 청정실 이용 구분

  ㅇ BCR(Biological C/R) : 미생물,분진 등을 제거한 청정실(제약,병원,식품제조 등)
  ㅇ ICR(Industrial C/R) : 제조 산업시설에 설치되는 청정실


3. 청정실 등급(클래스,class) 주요 기준

  ㅇ US Federal Standard 209 : 1, 10, 100, 1000, 10,000, 100,000 (6 등급 구분)
     - 例) 미세 전자기기 가공 : 1 ~ 10 classs 정도, 병원 : 10,000 class 정도

  ㅇ ISO 14644-1 : 1 ~ 9 (9 등급 구분)
     - 例) 일반 실내 공기 : 9 등급

  ※ 단위 체적입자의 크기 및 수에 따라 정해짐
     - 어떤 입자 지름 보다 큰 입자단위 부피에 허용되는 입자의 수로 나타냄
     - 例) 미 연방기준 209
        . class 100 : 0.5 ㎛ 이상의 지름을 갖는 입자의 수가 100개/ft3 이하
        . class 10 : 0.5 ㎛ 이상의 지름을 갖는 입자의 수가 10개/ft3 이하


4. 청정실 유지 방식

  ㅇ 환기시설  : 고성능 미립자 공기 필터 (HEPA, High-performance Particulate Air Filter)를 통함
     - 또한, 여과된 환기를 중요 공정실에 층류 유동으로 공급시키며 먼지 입자 공기를 걷어내게함
  ㅇ 온도 습도 : 21℃, 상대습도 45%
  ㅇ 가장 큰 오염원인 사람에 대한 대책
     - 실험실 가운,장갑모자 등 특수 복장 착용, 연필 대신 볼펜(흑연 입자 방지),
       클린룸용 종이(특수 용지) 사용 등


[집적공정 참고용어] 1. 집적공정 용어 2. 청정실 3. 진공
  1.   기술공통
  2.   기초과학
  3.   진동/파동
  4.   방송/멀티미디어/정보이론
  5.   전기전자공학
        1. 전기전자공학
        2. 전기 (Electricity) 이란?
    1.   디지털공학
    2.   신호 및 시스템
    3.   회로해석
    4.   전자기학
    5.   초고주파공학
    6.   반도체
          1. 반도체
      1.   도체 전도성
      2.   반도체 기초
      3.   반도체 재료
      4.   반도체 에너지밴드
      5.   반도체 평형상태
      6.   반도체 전하 이동
      7.   반도체 접합
      8.   다이오드
      9.   트랜지스터
      10.   집적공정
            1. 집적 공정
            2. 결정 성장
            3. 리소그래피
            4. 증착
            5. 식각
            6. 도핑(확산,이온주입)
            7. 산화
        1.   결정 성장
        2.   증착
        3.   리소그래피
        4.   집적공정 참고용어
          1.   1. 집적공정 용어
              2. 청정실
              3. 진공
    7.   전자회로
    8.   전기공학
    9.   자동제어
    10.   전자공학(기타일반)
  6.   통신/네트워킹
  7.   정보기술(IT)
  8.   공학일반(기계,재료등)
  9.   표준/계측/품질
  10.   기술경영

 
        최근수정     요약목록     참고문헌